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壓電升降掃描臺，Z軸掃描運動

簡要描述：Sxxx.Z.C，壓電升降掃描臺，Z軸掃描運動
緊湊型 “S 系列“ 標(biāo)準(zhǔn)版系，Z 方向大行程

  • 產(chǎn)品型號：Sxxx.Z.C
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時間：2024-06-20
  • 訪  問  量：1660

詳細(xì)介紹

壓電·單維掃描運動 Sxxx.Z.C

? 緊湊型單軸Z軸方向運動，電容位置閉環(huán)控制


• Z 方向運動范圍 100-300 um；

• 外形尺寸，40 mm x 40 mm x 18 mm；

• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于1 nm (開環(huán)版本可選)；

• 最大負(fù)載 500 g；

• 支持無磁 (.NM) 和高真空 (.UHV) 選件升級；

壓電升降掃描臺，Z軸掃描運動——詳細(xì)參數(shù)：



壓電升降掃描臺，Z軸掃描運動——尺寸圖：

壓電升降掃描臺，Z軸掃描運動


多場科技“壓電掃描臺·緊湊型"解決方案主要包含：

S —— 掃描標(biāo)準(zhǔn)系列；

SD —— 高動態(tài)系列；

SH —— 高負(fù)載系列。

S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運動、Z軸單維度運動、XY軸雙維度運動和XYZ軸三維度運動等應(yīng)用場景，支持電容閉環(huán)傳感，可選無磁/高真空/超高真空選件升級。



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